什么是“硅半导体压力传感器”？

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什么是“硅半导体压力传感器”？

硅半导体传感器属于压阻式传感器，一般分为扩散硅传感器和单晶硅传感器。在半导体材料中，电阻率改变会引起测量信号发生变化，这些都是因晶体结构中电子移动发生变化而产生的，而电子移动又会受到机械载荷的影响。敏感的硅芯片及过程介质被不锈钢膜片（封装）隔离。根据具体应用要求，石蜡油或硅油可用作导压流体，用于内部压力变送。